Halbleiterfertigung: ASMLs High-NA-EUV-Belichter schaffen erste Rekorde
High-NA EUV schafft mit einer Belichtung kleinere Strukturen als aktuelle Halbleiterprozesse. Auch Speicher soll weiter schrumpfen. (Halbleiterfertigung, Intel)
High-NA EUV schafft mit einer Belichtung kleinere Strukturen als aktuelle Halbleiterprozesse. Auch Speicher soll weiter schrumpfen. (Halbleiterfertigung, Intel)